차세대 반도체 공정 제어의 새로운 기준,
Polaris PR53S Indigo 520

반도체 습식 공정(Wet Process)을 위한 궁극의 실시간 인라인 솔루션

새롭게 출시된 Vaisala Polaris™ PR53S는

반도체 액상 화학 공정을 위해 특별히 설계된 초순수 콤팩트 인라인 굴절계(Refractometer)입니다.

흔들림 없는 정확도

온도 보상 기능이 통합되어 드리프트(Drift) 없는 정확한 굴절률 측정이 가능하며, 기포나 입자, 결정이 포함된 까다로운 CMP 슬러리 애플리케이션에서도 안정적인 데이터를 보장합니다.

초순수 & 유지보수 Zero화

변형된 PTFE 플로우 셀(Flow cell)을 채택하여 오염을 원천 차단하며, 내부에 가동 부품(Moving parts)이 없어 유지보수 비용을 획기적으로 낮추고 장비 가동 시간(Uptime)을 극대화합니다.

공정장비와의 유연한 통합

¼~1인치 Pillar 또는 Flare 연결을 지원하여 기존 복잡하고 값비싼 분석기를 단일 인라인 측정기 하나로 대체할 수 있습니다.

확장된 생태계 지원

Vaisala Indigo520 트랜스미터 및 휴대용 지시계 Indigo80과 매끄럽게 연동됩니다. 특히 Indigo80을 활용하면 장비 Downtime 없이 프로브를 구성하고 교정할 수 있어 신속한 진단과 유지보수가 가능합니다.

반도체 공정 제어의 핵심 파트너, PURIX

PURIX는 반도체 제조의 핵심인 CMP, Cleaning, Photo, Etching 공정에서 정밀한 화학용액 관리의 기준을 제시합니다. 

당사는 고도화된 기술력이 집약된 Chemical 및 Slurry 농도 측정기(Refractometer)를 전문적으로 공급하며, 단순 장비 납품을 넘어 완벽한 초기 셋업과 신속한 기술지원 서비스를 통해 생산 라인의 안정성을 보장합니다. 

About
Vaisala Company

글로벌 정밀 측정 기기 및 인텔리전스의 리더, VAISALA는 90년의 혁신 역사를 바탕으로 기상, 환경 및 산업용 정밀 측정 분야를 선도하는 글로벌 기업입니다. 매년 100만 개 이상의 센서를 생산하며, 전 세계 150개 이상의 국가에서 산업 혁신과 의사결정을 지원하고 있습니다.

글로벌 역량

90년의 혁신, 150개국 서비스, 연 100만 개 센서 생산

Hot

독보적 기술력

초정밀 센서, 극한 환경(화성 등) 검증, 뛰어난 내구성 및 신뢰성

Hot

기업 철학

데이터 기반 통찰력, 더 나은 의사결정 지원, 정밀 측정 인텔리전스

Hot

PURIX 파트너십

반도체 공정(CMP, Photo 등) 최적화, 정밀 농도 측정 기술 융합, 완벽한 기술 지원

Hot

Taking every measure for the planet

VAISALA와 PURIX의 강력한 시너지
PURIX는 VAISALA의 검증된 기술력이 집약된 측정 기기를 국내 반도체 핵심 공정에 최적화하여 공급하는 핵심 파트너입니다.

VAISALA의 압도적인 정밀도와 PURIX의 전문적인 장비 셋업 및 기술 지원 역량이 만나, 고객사의 반도체 화학용액 및 슬러리 농도 관리를 완벽하게 통제합니다. 이를 통해 차세대 공정 최적화와 수율 극대화를 견인하며 최고의 비즈니스 가치를 제공합니다.

Global Employees

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Personnel in R&D

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Countries with client

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Indigo520
Transmitter
Dual probe support. Polaris compatible.

Vaisala Indigo520은 온도, 습도, 이산화탄소, 과산화수소 등 다양한 환경 인자 및 액체 농도를 측정하는 Vaisala Indigo 호환 프로브 및 Polaris™ 공정용 굴절계를 위해 설계된 산업용 다기능 트랜스미터(데이터 전송 및 제어 장치) 입니다. 

PR53S, PR53M, PR53MEX와 같은 반도체/화학 공정용 굴절계와 결합하여 측정 데이터를 관리하고 장비를 제어하는 핵심 허브 역할을 합니다

What is a process refractometer? Measuring liquid concentration

Vaisala 농도계에 대한 FAQ

광학 굴절률(Refractive Index, RI) 측정을 기반으로 작동합니다. 빛이 액체 경계면에서 꺾이는 임계각을 디지털 광학 센서로 측정하여 용액 내 용해 물질의 농도로 정밀 변환합니다.

영향을 주지 않습니다. 굴절률 측정 방식 특성상 용액 속의 공기 방울, 고체 입자, 탁도 또는 색상 변화에 간섭받지 않고 실제 용해된 물질의 농도만 정확하게 연속 측정합니다.

필요하지 않습니다. 구동 부품이 없는 구조와 제로 드레이프트(Zero-drift) 정밀 광학 설계로 제작되어, 수명 내내 소모품 교체나 정기적인 재교정 작업 없이 안정적인 측정값을 유지합니다.

화학(산/염기, 농축액), 제약 및 바이오(단백질 농축, 여과 공정), 식품 및 음료(당도/Brix, 시럽), 제지/펄프(블랙 리커), 광산 및 금속가공(절삭유, 담금제) 등 다양한 유체 공정에 적용됩니다.

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일반 플랜지 연결용(PR53GP), 소형 파이프 및 화학 라인용(PR53GC), 초유독·강부식성 케미컬용 PTFE 본체(PR53M/PR53W), 위생/제약 규격 준수형(PR53AC) 등 공정 조건에 맞춘 다양한 모델을 제공합니다.

네, 가능합니다. 접액부에 비금속 PTFE 및 특수 화학 내성 소재를 적용한 모델(PR53M, PR53W)이 있어 강산, 강염기, 유독성 유체 파이프라인에서도 안전하게 측정할 수 있습니다.

4-20mA 아날로그 및 Ethernet(UDP/IP) 출력을 기본 지원하며, 내장된 웹 사용자 인터페이스(Web UI)를 제공합니다. 옵션 변환기를 통해 Modbus, PROFIBUS, PROFINET 등과도 쉽게 연동됩니다.

네, Indigo520 등 Vaisala Indigo 시리즈 트랜스미터와 플러그 앤 플레이 방식으로 호환되어 디스플레이 표시, 데이터 로깅, 다중 센서 통합 모니터링 기능을 확장할 수 있습니다.

고정밀 내장 온도 센서가 공정 온도를 실시간 측정하여 오차를 자동 보정합니다. 고온/고압 공정의 경우 전용 냉각 커버 액세서리를 장착해 안정성을 높일 수 있습니다.

바이살라는 500개 이상의 산업별 공정 농도 곡선 라이브러리를 보유하고 있습니다. 공장 출하 시 해당 응용 분야에 맞는 농도 곡선이 사전 설치되어 현장 설치 후 즉시 가동이 가능합니다.

반도체 Chip Maker 및 장비사, 소재사 등 반도체 관련 기업에서 신뢰받고 있습니다.

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