굴절률계는 액체의 굴절률(nD)과 온도를 광학적으로 측정하여 용액의 농도를 결정합니다. 소스 내 임계각(Critical Angle) 원리에 따르면, 광원에서 나온 빛이 프리즘과 공정 용액의 계면에 다양한 각도로 도달할 때, 특정 각도보다 작은 빛은 전반사되고 그보다 큰 각도의 빛은 용액으로 굴절됩니다. 이때 생성되는 명암 경계선(shadow line)의 각도를 디지털 CCD 카메라가 감지하여 굴절률 값으로 변환합니다.
네, 가능합니다. 굴절률계 내부에 Pt-1000 온도 센서가 내장되어 있어 공정 액체의 온도 변화를 빠르게 감지하고 완전 자동 디지털 온도 보정을 수행합니다. 따라서 공정 온도가 바뀌어도 농도 측정값은 영향을 받지 않습니다.
제공된 소스에 따르면 반도체 및 정밀 화학 공정에서 사용되는 다양한 공격적인 화학 물질을 측정할 수 있습니다. 대표적으로 초순수 탈이온수(DI water), 불산(HF), 이소프로필알코올(IPA), 과산화수소(H2O2), 질산(HNO3), 염산(HCl), 수산화칼륨(KOH), 수산화나트륨(NaOH), 수산화암모늄(NH4OH), EKC, CMP 슬러리 등이 포함됩니다. 500개 이상의 농도 곡선을 제공합니다.
네, 가능합니다. Polaris™ PR53M 및 PR53MEX 모델은 염산(HCl), 수산화나트륨(NaOH), 황산($H_2SO_4$) 등 공격적인 부식성 화학 물질 측정을 위해 설계되었습니다. 이 모델들은 일체형 초순수 PTFE 플로우 셀 바디를 사용하여 금속 접액부가 없어 오염 위험을 최소화합니다.
Polaris™ PR53S 및 PR-33-S 모델의 경우, 굴절률 정확도는 0.0002nD입니다. 이는 일반적으로 염산(HCl) 수용액과 같은 케미컬에서 중량 퍼센트 농도로 0.1%에 해당하는 정확도입니다.
네, PR-33-S 및 PR53S 모델은 반도체 산업의 클린룸 환경 및 통합 공정 도구(웻 벤치, 화학 물질 분배 시스템 등)를 위해 특별히 설계되었습니다. 금속이 없는(metal-free) 콤팩트한 구조로 공간을 적게 차지하며 초순수modified PTFE 플로우 셀을 갖추고 있습니다.
네, 가능합니다. 굴절률 측정 원리는 dissolved material(용해된 물질)에 반응하므로, 공정 내의 거품, 입자, 결정체, 부유 고형물 또는 색상 변화에 영향을 받지 않고 정확한 농도 측정이 가능합니다. 또한 ppm 단위의 불순물에도 영향을 받지 않습니다.
굴절률계는 독립적으로 작동하거나 Indigo520 트랜스미터 또는 Indigo80 휴대용 인디케이터와 연결하여 사용할 수 있습니다. Indigo520은 터치스크린 인터페이스, 데이터 로깅, 프리즘 세척 제어, Modbus TCP/IP 및 아날로그 출력 등의 기능을 제공합니다. 또한 free Insight PC 소프트웨어를 통해 데스크톱에서 장치 구성, 보정, 농도 곡선 다운로드 등이 가능합니다.
Vaisala 굴절률계는 drift-free(표류 없음) 보정 기술을 사용하여 시간이 지나도 유지보수, 조정 또는 재보정이 거의 필요하지 않습니다. 기계적 조정 부품이 없는 완전 디지털 장비이기 때문입니다. 필요한 경우 공인된 굴절률 액체를 사용하여 현장에서 보정 상태 및 정확도를 쉽게 검증할 수 있습니다.
네, Polaris™ PR53MEX 모델은 ATEX 및 IECEx 인증을 획득하여 폭발 위험이 있는 환경(Ex Zone 0 또는 Zone 2)에서 공격적인 화학 물질(예: NMP, 암모니아 NH3)의 농도를 측정하는 데 적합합니다.
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