견적 문의

회사 소개

퓨릭스의 미션

정밀함을 현실로,
공정을 성과로

우리는 완벽한 공정 제어가 차세대 반도체 제조 경쟁력의 핵심이라고 믿습니다.

CMP, Cleaning, Photo, Etching 등 고난도 공정의 화학용액 농도를 가장 정밀하고 신속하게 제어할 수 있도록 최적의 솔루션을 제공하는 것, 그것이 PURIX의 미션입니다.

우리는 측정 오차와 공정 불확실성의 장벽을 허물고, 고객사가 실시간 데이터의 신뢰를 바탕으로 더 높은 기술적 도약을 이룰 수 있는 환경을 만들어갑니다.

공정이 목표로 하는 완벽한 수율과 미래, PURIX가 탁월한 기술력과 검증된 엔지니어링으로 지원하겠습니다.

공정별 Application 적용 전략

개인과 기업이 잠재력을 최대한 발휘할 수 있도록 지원하는 데 열정을 쏟고 있습니다.
개인 맞춤 전략, 의미 있는 연결, 측정 가능한 결과에 기반한 접근 방식을 제공합니다.

Bulk Chemical Delivery

벌크 공급 라인에 인라인 농도계를 설치해 입고 화학약품의 규격 일치 여부를 실시간 검증하고 오공급으로 인한 설비 파손과 웨이퍼 폐기를 방지합니다.

Chemical & Slurry Blending

MP 슬러리 희석 및 과산화수소(H₂O₂) 등 산화제 혼합 시 실시간으로 농도를 측정하여 최적의 화학 조성 비율을 유지합니다.

Wet Etch Monitoring

고온 KOH 등 식각액의 농도 변화를 실시간 추적하여 정확한 식각 종단점을 판별하고 화학약품 배스(Bath) 수명을 연장합니다.

Wafer Cleaning & Interface

세정 약액(HF, SC-1, DIW 등) 전환 시 계면을 즉각 감지하고 EKC 등 고가 유기 세정제의 수분 함량 관리를 통해 약액 소모를 줄입니다.

CMP Process Control

POU(Point of Use) 디스펜스 라인에서 슬러리 조성을 정밀 제어하여 웨이퍼 표면 스크래치를 방지하고 연마 균일도를 극대화합니다.

Integrated Process Metrology

트랜스미터(Indigo520 등)와 연동해 다중 프로브 데이터 통합 로깅 및 원격 진단을 수행하여 다운타임을 최소화합니다.

채용 문의 및 입사 지원

반도체 공정제어의 미래, 퓨릭스와 함께 만들어가요

기술 영업

  • 회사
  • 사이트

글로벌 커뮤니케이션

해외 본사와의 원활한 기술 질의응답, 영문 매뉴얼/데이터시트 분석 및 납기 조율을 수행할 수 있는 비즈니스 커뮤니케이션 역량

지금 신청하기

현장 지원 엔지니어

  • 회사
  • 사이트

셋업·현장 엔지니어링 지원

장비 납품 후 설비 인터페이스 연동, 통신 및 알람 설정, 초기 셋업 지원 등 필드 엔지니어링 및 기술 지원을 조율·수행하는 역량

지금 신청하세요

복잡한 공정 문제를 해결하는 가장 명확한 실시간 계측 솔루션

까다로운 반도체 Chemical & Slurry 농도 제어를 직관적이고 완벽한 데이터로 단순화합니다.

샘플 분석 의뢰

설계 단계부터 반도체 FAB 기준의 완벽한 신뢰성과 안전성

초고순도 내화학성 재질(PTFE/사파이어) 설계와 비금속(Metal-Free) 구조로 오염 리스크와 설비 손상을 원천 차단합니다.

  • 반도체급 내화학성 불소수지(High-Grade PTFE & Kalrez)
  • 99.996% 단결정 사파이어(Monocrystalline Sapphire)

설계 단계부터 엔터프라이즈급 보안

Your data, models, and workflows are protected by modern security standards. Block-AI is built with privacy, compliance, and reliability at its core.

  • 종단 간 데이터 암호화
  • 컴플라이언스 준비 아키텍처

고객사 공정 조건에 완벽히 최적화된 맞춤형 Application 솔루션

CMP, Cleaning, Photo, Etching 등 각 공정 라인의 배관 구조, 유량, 약액 특성에 맞춘 최적의 인라인 농도계 셋업과 맞춤형 Application 기술지원을 제공합니다. 공정 변동을 사전에 제어하여 수율 극대화와 생산 안정성을 실현합니다.

  • 공정 맞춤형 Application 셋업 (Tailored Process Setup)
  • 인라인 농도 제어 (In-line Concentration Control)
  • 공정 변동 사전 제어 (Process Variability Prevention)
  • 수율 극대화 및 생산 안정성 (Yield Optimization & Process Stability)

최적의 솔루션과 통합하기

퓨릭스는 정밀한 실시간 인라인 계측 데이터와 신뢰할 수 있는 엔지니어링 지원으로 반도체 제조 현장의 품질 혁신을 완성합니다.

문의하기
History

Product 변천사

K-Patents 기반의 디지털 인라인 굴절계 태동기

  • 광학적 임계각(Critical Angle) 측정 원리와 CCD 카메라 기반의 디지털 이미지 분석 기술 도입.

  • 농도 측정 시 기포(Bubbles), 미립자(Particles), 색상 변화의 영향을 받지 않는 드리프트 없는(Drift-free) 고정밀 광학 센서 기술 구축.

  • 펄프/제지, 일반 화학, 식음료 등 다양한 산업 공정에 인라인 농도계 보급.

반도체 팹(FAB) 초고순도 전용 세대

    • 반도체 클린룸 특화: 금속 이온 오염을 원천 방지하는 100% 비금속(Metal-Free) 및 초고순도 Modified PTFE 플로우 셀, 사파이어 프리즘 적용.

    • CORE-optics 기술 도입: 압력, 유량, 공정 온도 변화의 외란으로부터 광학계를 격리·보호하는 특허 기술 탑재.

    • PoE & 웹 기반 모니터링: PoE(Power over Ethernet) 통신을 통해 클린룸 외측에서 웹 브라우저로 실시간 모니터링 및 세팅 지원.

차세대 통합 브랜드 ‘Polaris™’ 세대

  1. Polaris™ PR53S (Semicon Process Refractometer):

    • 반도체 습식 공정 및 정밀 케미컬 전용 모델.

    • 초고순도 PTFE 바디, 사파이어 프리즘, Pillar/Flare 피팅(1/4~1인치) 지원으로 웻벤치 및 POU(Point of Use) 장비 내부에 완벽 통합.

  2. Polaris™ PR53M (PTFE-Body Process Refractometer):

    • 염산(HCl), 황산(H₂SO₄), 수산화나트륨(NaOH), 불산(HF) 등 공격적인 부식성 화학용액 전용 PTFE 바디 모델.

  3. Polaris™ PR53MEX (Explosive Areas Refractometer):

    • PR53M 사양에 ATEX / IECEx 방폭 인증(Zone 0/2)을 추가하여 위험 구역 및 NMP, 암모니아 등 인화성 케미컬 라인에 적용.

Indigo 모듈형 에코시스템으로의 플랫폼 통합

  1. Indigo520 트랜스미터 (Host Device):

    • 5인치 터치스크린 디스플레이 탑재, 듀얼 프로브(최대 2개 센서 동시 연결) 지원.

    • 액체 농도계(Polaris PR53) 연결 시 프리즘 자동 세척(Prism Wash Control) 제어, 농도 커브 전환, 대용량 비휘발성 데이터 로깅, Modbus TCP/IP 및 클라우드 원격 연결 제공.

    • 액체 농도뿐만 아니라 온습도, Dew Point, H₂O₂, CO₂ 등 기체/환경 파라미터와의 통합 관제 가능.

  2. Indigo80 휴대용 인디케이터 (Handheld Indicator):

    • 현장에서 공정 라인을 멈추지 않고(Downtime 없이) 개별 PR53 센서에 직접 연결하여 즉각적인 진단, 데이터 로깅, 현장 캘리브레이션을 수행하는 포터블 솔루션.

  3. Insight PC Software:

    • PC와 USB 연결을 통해 500개 이상의 신규 화학물질 농도 곡선(Chemical Curve) 다운로드, 파라미터 설정 및 간편한 교정 지원.

Partner with us to create something extraordinary

경기도 하남시 미사강변한강로 135, 나동 480호 (망월동, 미사강변 스카이폴리스)
TEL : (031) 699-2040
E-mail : info@purixtech.co.kr
ⓒ PURIX Co., Ltd. All right reserved.

Facebook-f Twitter Tumblr Vimeo-v