세정, 식각, 혼합, CMP 등 핵심 반도체 화학 공정 최적화
기존의 복잡한 분석기를 대체하는 빠르고 정확한 연속 측정
오염을 최소화하고 클린룸 및 장비 통합에 특화된 콤팩트 디자인
기포 및 입자가 포함된 환경에서도 흔들림 없는 정확도 유지
Vaisala Polaris™ PR53S는 반도체 액체 화학 공정용으로 설계된 컴팩트하고 초순도의 인라인 굴절률계입니다.
수정된 PTFE 플로우 셀과 1/4–1인치 Pillar 또는 Flare 연결부는 블렌딩, 세척, 에칭, CMP 단계에 걸쳐 웻 벤치, 화학 공급 시스템, 공정 장비에 원활하게 통합될 수 있도록 합니다.
PR53S는 클린룸 환경과 통합 공정 도구 내에서 실시간으로 화학 농도를 지속적으로 측정하여 모든 단계에서 엄격한 공정 제어를 유지하는 데 도움을 줍니다.
고도의 정확성, 신뢰성, 반복성을 갖춘 측정으로 PR53S는 벌크 디스펜싱, 블렌딩, 현장 모니터링에서 단일 인라인 굴절률 측정만으로 복잡하고 고가의 분석기를 대체할 수 있습니다.
반도체 습식 공정에 사용되는 화학물질의 농도를 클린룸 및 통합 공정 도구 내에서 실시간으로 인라인 측정합니다. 이를 통해 제어 시스템에 즉각적인 피드백을 제공하여 모든 공정 단계에서 엄격한 농도 제어를 유지할 수 있도록 돕습니다.
반도체 액체 화학 공정을 위해 특별히 설계된 컴팩트하고 초순도의 특성을 가진 인라인 굴절률계입니다. 특수하게 변형된 PTFE 플로우 셀과 다양한 연결부(1/4~1인치)를 지원하여 Wet bench나 CDS 공급장치 등에 매끄럽게 통합됩니다.
단일 인라인 굴절률 측정 방식을 통해 기존에 벌크 화학물질 분배 및 혼합 과정에 사용되던 비싸고 복잡한 분석 장비들을 효과적으로 대체할 수 있습니다. 이를 통해 공정 모니터링 시스템을 단순화하고, 전반적인 장비 도입 및 유지 비용을 크게 절감해 줍니다.
까다로운 슬러리(Slurry) 응용 분야를 포함하여 광범위한 화학물질 환경에 대해 정확하고 일관된 측정값을 제공합니다. 특히 공정 용액 내에 기포, 입자 또는 결정이 존재하는 상황에서도 흔들림 없이 신뢰할 수 있는 안정적인 데이터를 보장하는 것이 큰 장점입니다.
온도가 자체적으로 통합 보상되어 장기적인 안정성을 갖춘 드리프트 없는(Drift-free) 정확한 굴절률 측정이 가능합니다. 제품 내부에 기계적으로 구동되는 부품이 없어 유지보수 필요성이 최소화되며, 이를 통해 장비의 가동 시간(Uptime)을 극대화할 수 있습니다.
화학물질 농도가 지정된 규격을 벗어날 경우 즉각적인 알람을 제공하여 분배 지점의 장비 고장이나 결함을 사전에 방지합니다. 정확한 실시간 모니터링으로 화학물질 수조(Bath)의 수명을 연장하고 소비량을 최적화함으로써 웨이퍼 처리량을 늘리고 전반적인 생산 수율을 향상시킵니다.
식음료(Food & Beverage), 유제품(Dairy), 양조(Brewery) 및 제약(Pharma) 산업에 특화되어 설계된 위생용(Sanitary) 제품군입니다
파이프라인 설치(Pipeline installation) 방식을 채택하여, 실시간 인라인(Inline)으로 브릭스(Brix) 및 기타 액체의 농도를 정밀하게 계측합니다
일반 구역(Ordinary areas)용인 PR53AC와 폭발 위험이 존재하는 방폭 구역(Explosive areas)용인 ACEX 모델로 나뉘어 있어 현장 안전 요구조건에 맞게 선택할 수 있습니다
Indigo520 트랜스미터(공정 굴절계용 소프트웨어 옵션 적용 시) 및 Indigo80 휴대용 지시계와 연동하여 데이터를 관리할 수 있습니다
파이프라인(배관)에 설치되는 콤팩트 모델(PR53AC 등)과 달리, 탱크(Tank), 가마(Kettle), 조리기(Cooker), 반응 용기(Vessel) 등에 직접 꽂아 사용할 수 있는 프로브(Probe) 형태로 설계되었습니다
원료의 혼합, 희석, 농축 공정 중에 중단 없이 정확한 실시간 농도 데이터를 제공
폭발 위험이 없는 일반 공정 구역을 위한 PR53AP 모델과 인화성 가스나 증기 등으로 인해 방폭 안전 인증이 필수적인 위험 구역을 위한 APEX 모델로 구성되어 있습니다
고정식 산업용 트랜스미터인 Indigo520과 연결하면 프리즘 세척 제어, 데이터 로깅, 다양한 농도 곡선 관리 등의 고도화된 기능을 사용할 수 있으며, 휴대용 지시계인 Indigo80과 연동하여 현장 스팟 점검 및 무중단 진단을 간편하게 수행할 수 있습니다
황산, 수산화나트륨 등의 산·알칼리 용액(Acids, alkaline solutions), 알코올(Alcohols), 탄화수소(Hydrocarbons), 다양한 산업용 용제(Solvents) 등 화학 업계에서 다루는 광범위한 화학 물질의 농도를 안정적으로 정밀 계측합니다
소형의 콤팩트한 하드웨어 설계를 바탕으로 화학 공급 및 공정 배관 파이프라인(Pipeline)에 직접 인라인으로 삽입되어, 실시간 농도 변동 데이터를 연속적으로 획득합니다
인화성 가스나 증기 등으로 인해 가혹하고 폭발 위험성이 존재하는 화학 공정 특성에 맞추어 일반 구역(PR53GC) 외에도 IECEx/ATEX Zone 0/1 혹은 Zone 2 방폭 인증을 획득한 방폭 모델(GCEX)을 선택할 수 있어 공정 안전을 확보합니다
고정식 산업용 트랜스미터인 Indigo520과 연결하여 실시간 모니터링 데이터 표시, 대용량 데이터 로깅, 다양한 현장 자동화 제어 시스템(Modbus TCP/IP, 아날로그 출력 등)으로의 신속한 전송을 지원하며, 휴대용 지시계인 Indigo80과 연동하여 현장 가동 중단 없는 문제 진단 및 캘리브레이션 조정을 가능하게 합니다
화학(Chemical), 설탕(Sugar), 감미료(Sweetener), 석유화학(Petrochemical) 산업 등 정밀하고 지속적인 액체 농도 관리가 필수적인 제조 공정에 최적화되어 있습니다
Brix(당도) 및 다양한 당류의 농도 측정은 물론, 공정 내 산(Acids), 알칼리 용액(Alkaline solutions), 알코올(Alcohols), 탄화수소(Hydrocarbons), 산업용 용제(Solvents) 등 광범위한 액상 용액의 농도를 연속 측정합니다
배관 파이프라인(Pipeline)과 대형 탱크(Tank) 시스템 모두에 유연하게 설치할 수 있는 프로브 타입 설계를 갖추어, 대용량 화학 원료 공급이나 혼합 용기 내부의 모니터링을 실시간으로 실현합니다
인화성 가스, 증기 또는 화학 분진 등으로 인해 위험이 존재하는 가혹 환경(GPEX 적용 시)에서도 안전 표준을 준수하며 정밀한 굴절식 광학 연속 측정을 안전하게 보장합니다
Indigo520은 온도, 습도, 이산화탄소, 과산화수소 등 다양한 환경 인자 및 액체 농도를 측정하는 Vaisala Indigo 호환 프로브 및 Polaris™ 공정용 굴절계를 위해 설계된 산업용 다기능 트랜스미터(데이터 전송 및 제어 장치)입니다.
PR53S, PR53M, PR53MEX와 같은 반도체/화학 공정용 굴절계와 결합하여 측정 데이터를 관리하고 장비를 제어하는 핵심 허브 역할을 합니다
[ Indigo520의 주요 특징 ]
🔀 듀얼 프로브 동시 지원: 최대 2개의 분리형 프로브/측정 장치를 동시에 연결하여 다양한 파라미터(온습도, 노점, CO₂, H₂O₂, 농도계 등)를 조합 및 측정
📱 터치스크린 & 직관적 인터페이스: 5인치 정전식 터치스크린 디스플레이를 탑재하여 현장에서 측정값과 트렌드 그래프를 직접 확인 가능(디스플레이 미포함 옵션 제공)
💾 강력한 데이터 로깅: 비휘발성 메모리를 통해 모든 측정 데이터를 안전하게 기록 및 저장하며 웹 브라우저를 통해 손쉽게 데이터 다운로드
🌐 다양한 산업용 통신 및 출력: 4개의 절연 아날로그 출력(mA/전압), 2개의 릴레이, Modbus TCP/IP(Ethernet), 클라우드 원격 모니터링 지원
🛡️ 견고한 내구성: 혹독한 산업 환경에 적합한 IP66 등급의 금속 인클로저 적용
🧪 농도계(Refractometer) 특화 기능 지원: Polaris PR53 시리즈 등 굴절식 농도계 연동 시 프리즘 세척 제어(Prism wash control) 및 농도 곡선 전환 관리 지원
이더넷(Ethernet) 인터페이스를 기반으로 작동하는 Modbus TCP/IP(포트 502) 프로토콜을 통해, 굴절계나 환경 프로브에서 측정한 데이터를 현장의 공장 자동화 시스템으로 빠르고 정확하게 전송할 수 있습니다.
Indigo520은 4개의 구성 가능한 아날로그 출력 및 알람 릴레이(Relay)와 더불어 Modbus TCP/IP라는 디지털 프로토콜을 함께 지원합니다. 이를 통해 사용자는 현장의 기존 시스템 환경에 맞춰 가장 적합한 방식을 선택할 수 있는 매우 유연한 연결성을 확보할 수 있습니다.
기기 디스플레이를 통해 현장에서 즉각적으로 측정값을 확인(On the spot)하는 동시에, 상위 제어 시스템으로 데이터를 전송하여 실시간 공정 제어 및 모니터링을 가능하게 합니다
경기도 하남시 미사강변한강로 135, 나동 480호 (망월동, 미사강변 스카이폴리스)
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